Шлифовка и полировка

Для обеспечения требуемого качества поверхности пластин должны быть подвергнуты дальнейшей обработке. Эта обработка состоит в шлифовке и последующей полировке пластин. Шлифовка и полировка пластин производится на плоскошлифовальных прецизионных станках с использованием абразивных материалов с размером зерна около 40 мкм (микропорошки). Чаще всего применяют группы микропорошков с зернами 14 мкм и меньше. В таблице 3 приведены марки и размеры зерен основной фракции используемых микропорошков. Микропорошки М14, М10, М7, М5 изготавливаются из карбидов бора, кремния и электрокорунда, микропорошки марок АСМ - из алмаза.

Таблица 3 - Микропорошки для шлифовки и полировки пластин кремния

Марка

М14

М10

М7

М5

АСМ7/5

АСМ5/3

АСМ3/2

АСМ2/1

АСМ1/0,5

Размер, мкм

14.10

10.7

7.5

5.3

7.5

5.3

3.2

2.1

1 и мельче

В зависимости от типа микропорошка выбирается материал поверхности шлифовальщика. При шлифовке пластин микропорошками М14-М15 применяют стеклянный шлифовальщик, при полировке микропорошками АСМ - специальные шлифовальщики с поверхностью из тканевых материалов. При обработке пластин на рабочий шлифовальщик устанавливаются три головки с наклеенными пластинами. Головки удерживаются от перемещения по шлифовальщику специальными направляющими кронштейнами с опорными роликами (рисунок 6). За счет силы трения возникающей между соприкасающимися поверхностями рабочего шлифовальщика и головок, последние вращаются вокруг своих осей. Это вращение головок создает условия для равномерного шлифования или полирования.

При шлифовании микропорошками М14 - М15 используют водные суспензии с соотношением воды к абразиву 3¸1, при полировке пластин специальные алмазные пасты.

В настоящее время принята определенная последовательность операций при механической обработке пластин. При этом учитывается то, что толщина снимаемого слоя на каждой операции должна превышать толщину нарушенного слоя, который образовался на предыдущей операции. Пластины шлифуют с двух сторон, а полируют только рабочую сторону.

Таблица 4 - Характеристики микропорошков

Тип порошка

Толщина нарушенного слоя, мкм

Скорость удаления материала, мкм/мин

Класс шероховатости поверхности

М14

20 - 30

3

7

М10

15 - 25

1,5

8 - 9

АСМ3/2

9 - 11

0,5 - 1,0

12 - 13

АСМ1/0,5

5 - 7

0,35

13

АСМ0,5/0,3

Менее 3

0,25

13 - 14

АСМ0,3/0,1

Менее 3

0,2

14

Перейти на страницу: 1 2

Другие стьтьи в тему

Радиорелейные и спутниковые системы передачи информации
Радиосистема передачи, в которой сигналы электросвязи передаются с помощью наземных ретрансляционных станций, называется радиорелейной системой передачи. На частотах ОВЧ- и СВЧ-диапазона надежная связь с низким уровнем помех может быть получена только в условиях прямой видимости ме ...

Расчет системы автоматического регулирования (САР)
Центральной проблемой автоматизации является автоматическое управление. Необходимость автоматического управления возникает в тех случаях, когда требуется заранее с заданной точностью управлять тем или иным физическим параметром (регулируемой величиной) объекта управления ...

Разделы

Радиоэлектроника и телекоммуникации © 2022 : www.techelements.ru