Радиоэлектроника и телекоммуникации
При лазерном скрайбировании (рисунок 8) разделительные риски между готовыми структурами создают испарением узкой полосы полупроводникового материала с поверхности пластины во время ее перемещения относительно сфокусированного лазерного луча. Это приводит к образованию в пластине сравнительно глубоких (до 50.100 мкм) и узких (до 25…40 мкм) канавок. Канавка, узкая и глубокая по форме, играет роль концентратора механических напряжений. При разламывании пластины возникающие напряжения приводят к образованию на дне канавки трещин, распространяющихся сквозь всю толщину пластины, в результате чего происходит ее разделение на отдельные кристаллы.
Наряду с созданием глубокой разделительной канавки достоинством лазерного скрайбирования является его высокая производительность (100.200 мм/с), отсутствие на полупроводниковой пластине микротрещин и сколов. В качестве режущего инструмента используют импульсный оптический квантовый генератор с частотой следования импульсов 5.50 кГц и длительностью импульса 0,5 мс.
Рисунок 8 - Схема лазерного скрайбирования полупроводниковой пластины
Другие стьтьи в тему
Проектирование цифровой радиорелейной линии г. Братск - г. Иркутск
Целью данной курсовой работы является проектирование ЦРРЛ г. Братск ‒ г. Иркутск. Т.е. создание магистральной
высокоскоростной цифровой связи в индустриально развитой области России.
Радиорелейная связь - радиосвязь по линии, образованной
цепочкой приёмо-передающих (ретрансляц ...
Разработка автоматизированного рабочего места помощника бухгалтера ООО Торговый дом Алдан
рабочий место автоматизированный информационный
Развитие
экономики и других сфер человеческой деятельности в наше время связано с
применением вычислительной техники, созданием информационных систем различного
назначения. Сегодня обработка экономической информации стала само ...